
Датчик выхлопных газов MEMS использует процесс MEMS для изготовления микро горячей плиты на Кремниевая подложка, которая использует полупроводниковый материал оксида металла с низкой проводимостью в чистом воздухе. Когда датчик находится в газовой среде, проводимость датчика меняется с концентрацией обнаруженного газа в воздухе. Чем выше концентрация газа, тем выше проводимость датчика. Изменение проводимости может быть преобразовано в выходной сигнал, соответствующий концентрации газа с помощью простой цепи.
Обнаружения утечки газа типа
Метана (CH41-10000 ppm
Пропан (C3H81-5000 ppm
Сенсор характеристики
Основное применение
Техническими показателями
| Характеристики датчик газа | Символ | Стандартное значение | Минимальная величина | Максимальное значение | Блок |
| Сенсор сопротивления | R0 | - | 100 | 1500 | КОм |
| Газовый генераторный агрегат (CH4) Для обнаружения концентрации | FS | - | 1 | 500 | Ppm |
| Чувствительность | S50 | - | 1,2 | 50 | - |
Примечание: 1. R0Измеряется при температуре окружающей среды 23 ± 5 °C и влажности окружающей среды 50 ± 10% RH при стандартных условиях эксплуатации;
2. S50Ie Rs (3000 ppm CH4Общее количество)/R0(В воздухе) температура окружающей среды 23 ± 5 °, влажность окружающей среды 50 ± 10% RH условий, датчик в 3000 ppm CH4Соотношение значения сопротивления в воздухе к значению сопротивления датчика в чистом воздухе.
| Состояние | Символ | Диапазон параметров | Блок |
| Максимальная мощность обогрева | PH | 80 | МВт |
| Напряжение холостого хода | VS | 4,9-5,1 | V |
| Диапазон относительной влажности воздуха | П/с | 5-95 | % RH |
| Рабочая температура | Ta | -30-85 | ° C |
| Диапазон температуры хранения | TS | От-40 до 120 | ° C |
| Диапазон влажности при хранении | П/с | 5-95 | % RH |
| Название | Символ | Стандартное значение | Минимальная величина | Максимальное значение | Блок |
| Тепловая мощность | PH | 70 | 60 | 80 | МВт |
| Отопления напряжение | VH | 3,0 | - | - | V |
| Току нагрева | ЯH | Двадцать три | - | - | MA |
| Нагревательное сопротивление | RH | 77 | 70 | 87 | Ω |