
F2000Серии
Описание продукта
F2000 серия MEMS pilani Вакуумный датчик предусмотренИнновационная система измерения вакуума. Сенсор имеет небольшой форм-фактор, при этом имеет сверхнизкое энергопотребление, долгую жизнь, низкое содержание на местах и низкая стоимостьПреимущества.
В соответствии с "газовой теплопроводностью и низким уровнем вакуума пропорциональна" принцип вакуума датчик измерения нагревательных элементов из-за теплопередачи к окружающимГаз, вызванный тонкими изменениями сопротивления.
Нагревательный элемент (IE измерения сопротивления) устанавливается изоляционной пленкойНа платиновой пленке состав пленки. Изоляционная пленка подвесная в микрообработанном виде25& Mu; M глубокая полость на нижней части полость параллельна изолирующей пленкой для обеспечения точного измерения от скорости передачи тепла. Из-за небольшого размера измеренного газа (т. е. небольшой объем полости), сенсор может обеспечивать сверхнизкое энергопотребление и быстроВремя отклика.
Вакуумный датчик также обеспечивает эталонный резистор с таким же коэффициентом сопротивления (TCR) В качестве измерительного резистора, размещенного на сенсоре микросхемы подложки. Датчик датчика может использоваться для компенсации температуры окружающей среды.
В результате высокой надежности, низкой стоимости, простой в использовании и сверхнизкое энергопотребление благодаря преимуществам использования обработки MMS, минизамораживание пилани *Хирургическое вмешательство становится отраслевым стандартом.ИзF6000СерииMEMSВакуумный датчик pilani может помочь клиентам в полной мере воспользоваться этой тенденциейПотенциал совершенствования его существующей продукции и разработки новых продуктов. Это то же самое, что и"
Практическое применение
·Аналитический Инструменты
·Использовать утечку закрытой системы переднего вакуума
·Полупроводникового оборудования
·Вакуумная упаковка машины
·Портативный цифровой Вакуумметр
·Небольшая механическая система (например, насос) для достижения указанной степени вакуума
·Вакуумный вакуумный переключатель для проверки1Следующие степень вакуума
Абсолютный максимум целевой
·Рабочая температура:-40CЧтобы125C(Может предоставить более высокие температурные модели)
·Влажность:Чтобы100%RHБез конденсации
·Ударопрочность:1000 г
·Избыточное давление:27.5Бар
Выход напряжения и вакуумОтношения
Ток нагрева =6МА температуры= 25°Измерения сопротивления =156Ом