
Type1: 3 дюймов выключатель, выключатель перевод Кремниевая Пластина
Type2: 3 дюймов двойной бросок 100um
Тип 3: 3-дюймовая внутренняя Кремниевая пластина с высоким сопротивлением| Тип параметра | СиТехнический индекс |
| Размер продукта | 3inchSingle-sided полированная Кремниевая Пластина |
| Метод роста | CZ одиночный кристалл (CZ) |
| Обработка поверхности | На одной стороне полировка |
| Диаметр толерантность | 76,2 ±0. 3 мм |
| Допинг Тип | Допант (NType-doped фосфор, мышьяк и антимоний) (PBoron doped) |
| С украшением в виде кристаллов ориентации | 10011 |
| ResistivityΩ | 0,001-50 |
| ПланенессМДП | <3um |
| КороблениеTTV | <10um |
| Степень изгибаЛук | <10um |
| Полировка шероховатостьРА | <0.5nm |
| ЗернистостьPewaferr | <10 (Для размера>0.3um) |
| ТолщинаUm | 380um400um450um |
| Цель | Носители образцов для процесса isosynchrotron излученияLPCVD/PEСердечно-сосудистых заболеванийПокрытие как подложка, образцы, выращенные магнетронным распылением,РСА、SEM, AFM, инфракрасная спектральная флуоресцентная спектроскопия и другой анализ и измерение субстратов, база, выращенная молекулярным лучом Epitaxy,XРентгеновский анализ кристаллических полупроводников и многих других научных применений. |
Вот как выглядит настоящий продукт