4 дюймов окисленного кремниевых пластин, SIO2 вафли, экспериментальных исследований, специальный окисления лист

4 дюйма (100 мм) Диаметр монокристаллическая оксид кремния пленка

Слой диоксида кремния образуется на поверхности термооксида или голой кремния. При наличии окисляющего вещества при повышенных температурах процесс именуется термическим окислением. Слой горячего оксида обычно выращивается в Трубчатая Печь горизонтальная. Температурный диапазон контролируется при температуре от 900 до 1200 градусов Цельсия с помощью влажного или сухого метода роста. Термооксид-это слой выращенного оксида. Он имеет более высокую однородность и более высокую диэлектрическую прочность, чем оксидный слой, оседающий методом CVD. Это хороший Диэлектрический слой в качестве изолятора. В большинстве устройств на основе кремния термооксидный слой играет очень важную роль в утешении кремниевой поверхности. В качестве допингового барьера и поверхностного диэлектрика.

Применение диапазон:

1, определение скорости травления

2, Тест металлической проволоки

3, металлические пластины

4, электрическая изоляция

Процесс окисления: Термическое окисление-метод, при котором Кремниевая пластина помещается при высокой температуре и окисляющая атмосфера используется для преобразования тонкого слоя кремния на поверхности кремния в диоксид кремния.

Общие категории и характеристики процесса термического окисления:

1. Сухое окисление кислорода: сухое окисление кислорода-окисляющая атмосфера сухой, чистый кислород. Оксидная пленка плотная, плотность пинхола небольшая, подходит для фотолитографии, и качество хорошее, но скорость окисления медленная и стоимость высокая.

2, окисление водяного пара: метод окисления водяного пара-окислительная атмосфера является чистым водяным паром. Скорость окисления быстрая, но оксидная пленка болтается, плотность отверстия большая, качество низкое, и фотолитография легко плавает.

3. Влажное окисление кислорода: влажное окисление кислорода-окисляющая атмосфера-чистый кислород + чистый водород. И качество оксидной пленки и скорость окисления между сухим кислородным окислением и водяным паром окисления, и качество также между двумя.

Три вида методов термического окисления, качество оксидного слоя сухого окисления кислорода лучше; слой оксида кремния окисляется чистым сухим кислородом ниже 500 нм, качество оксидного слоя отличное, изоляция очень хорошая, И уникальная запатентованная технология окисления нашей компании используется., слой оксида имеет наименьшие дефекты и заряды, а плоскость высокая.